MEMS传感器

MEMS传感器芯片是一种采用微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System）技术制作的传感器芯片。它通过集成微机电机构和相关电子元器件，实现对外界气体或液体的压力进行测量和传感的功能。 

MEMS传感器芯片具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快等特点，可以广泛应在各种领域，如：工业、汽车、医疗设备、航空航天、环境监测等领域。