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致力于为各大高校/科研机构/企业单位提供全方位MEMS解决方案
在MEMS(微机电系统)工艺中,粘附层的选择至关重要,直接影响到膜层的质量、稳定性和器件性能。粘附层(adhesion layer)通常用于改善不同材料之间的结合力,确保后续沉积的薄膜能牢固地附着在基...
硅的晶向是指晶体在空间中的方向,是晶格排列的方向性质,不同的晶向会导致材料性能的差异。硅的晶向在半导体材料制备、微机电系统(MEMS)等领域具有广泛的应用。以下是对硅的晶向及其应用的详细解析:一、硅的...