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提供全方位MEMS解决方案
材质
苏打玻璃、石英玻璃、菲林板等。
尺寸精度
多种尺寸和规格的IC行业专用光刻掩模版，包括2”、3”、4”、5”、6”、7” 、 8”、9” inch的石英/苏打基材光刻板、6025步进式光刻板等，制作精度可达0.1um。
